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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2023年4至12月政府采购意向-多源有机蒸发镀膜设备 详细情况
2023年03月24日 18:03 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多源有机蒸发镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 多源有机蒸发镀膜设备 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103-电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购多源有机蒸发镀膜设备1台，用于金属以及p-型、n-型、p-型掺杂、n-型掺杂分子半导体薄膜的沉积制备。需满足水氧指标：小于1ppm，泄露率：小于0.001%vol/h，恢复工作时间<2小时，控温精度±1度，极限真空度≤6*10^-5Pa，工作真空度6x10-4 Pa，膜厚探测精度± 0.1 nm。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。