A02100309 激光仪器

采购1台超快激光三维纳米光刻机，主要应用于真正三维立体亚微米器件制作。该设备需具有如下技术特征： 1. 基于高能脉冲激光与物质的相互作用，产生材料非线性能级跃迁的三维纳米加工系统，可以应用于真正三维立体亚微米器件制作。 2. 加工的微光学器件，如微透镜，在口径不小于0.8mm，矢高不小于0.2mm时，表面平整度Ra.可以达到优于5nm。 3. 能够加工超高精度光学超构表面，能够成功实现将光的轨道角动量（OAM）维度用作全息信息载体的功能。 4. 加工样品的最大高度不低于20毫米。 5. 具备原生的灰度曝光技术，可以实时通过对激光的调制以动态改变加工体素的大小。该能量调制的带宽不低于1MHz，调节级数4096级及以上。 6. 加工的三维微光学器件的形状精度Sa优于200纳米。 7. 能够加工复振幅光学超构表面，能够成功实现任意空间焦散的功能。 8. 具有宽广的光敏材料的选择自由度，包含：SU-8，Ormocere，PEG-DA，AZ 9260，IP-L 780，IP-G 780，IP-PDMS等。 9. 具备三维形状迭代功能，加工后的测量值与设计值相比，在X-Y-Z方向上的偏差小于1%。 10. 能够加工的微螺旋结构的螺旋直径≤2 μm，螺旋单周期长度≤4 μm。 11.具备在光纤端面上加工微透镜和微腔的能力。 12. 能够加工太阳能光伏发电需要高效的陷光器件。 维修服务及培训计划： 免费保修期：安装调试完毕12个月 服务：免费上门安装调试培训。软件升级终身免费。厂家需提供设备常备品备件表格，备品备件在该设备停产后保证3年的供应，零配件须符合或优于设备技术要求（含技术指标、功能、计量标准、安全性和保修期等）。在设备使用过程，如需更换，按不高于表格的价格执行。表格如有漏项，按照国内最优惠价格提供。 培训计划： 包括： 1个课时设备原理与理论培训； 2个课时的上机操作实战培训； 1个课时的设备技术应用培训， 每个课时不少于2小时，由原厂售后技术人员进行培训。 供货周期：少于6个月。 供货周期：少于6个月。