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zycgr210708012025年12月政府采购意向-ICP刻蚀机 详细情况
2025年08月13日 18:06 来源： 中国政府采购网 【打印】
| ICP刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | ICP刻蚀机 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02339900其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | ICP刻蚀机一台，需满足的技术参数：1、上电极功率≥1100W,电极功率≥1000W 2、真空系统抽速≥1200L/S 3、气体管路配备≥7路 4、气体流量计控制精度≤±1%，气体流量计计量重复性≤±1% 5、反应腔室本底真空：＜2*10-5Torr |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。