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中国科学院大学2023年1至11月政府采购意向-物理科学学院物理气相沉积磁控溅射设备采购项目 详细情况
2023年02月02日 13:06 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 物理科学学院物理气相沉积磁控溅射设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院大学2023年1至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院大学 |
| 采购项目名称： | 物理科学学院物理气相沉积磁控溅射设备采购项目 |
| 预算金额： | 105.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 过程腔室体积为58L，真空抽速260l/s,极限真空2E-6torr；2英寸标准磁场靶枪，500W直流电源；样品台可以安装直径150mm样品，带旋转和加热搭550℃功能；含有上有压力控制气路，气压控制精度±1%；全自动化控制软件。 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | 物理学院《近代物理实验》教学实验室使用中央改善办学专项采购教学用磁控溅射镀膜机1台，因汇率可能上涨或超过100万元。特申报政采预算。 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。