A03

采购标名称：X射线光电子能谱仪； 采购标数量：1台套； 主要功能和目标： 1. 分析室由真空腔及抽气系统组成，真空腔为纯μ金属制造。 2. 真空度：分析室真空度优于5.0×10-8 Pa。 3. 能量扫描范围不低于0～5000eV。 4. 通过能范围应不小于1～400eV,并可连续调节，调节步长不大于1eV。 5. 微聚焦单色化Al Kα X射线源，束斑尺寸可在20μm--900μm之间连续可调，调节步长小于10 μm。 6. 最优能量分辨率：半高宽优于0.43 eV(Ag3d5/2)。 7. 大束斑能量分辨率和灵敏度：光源功率不大于300W条件下，对Ag3d5/2峰灵敏度：1.0Mcps (0.6ev分辨率，Ag3d5/2)，4Mcps (1.0ev分辨率，Ag3d5/2)。 8. 阳极靶为可移动设计，提供不少于20个工作点。 9. 可实现快速平行成像，对锐利刃口样品，可实现空间分辨率优于1μm的化学态成像以及6μm的微区回溯成谱。 10. 离子散射谱ISS，离子源：1 keV He离子作用于清洁金表面，能量分辨和灵敏度：15eV@25kcps/nA。 11. 刻蚀模式：单一枪体，包含单离子刻蚀和团簇刻蚀两种模式。 12. 配有同轴反射电子能量损失谱（REELS），可满足对氢元素的定性定量分析；对于干净的银样品，等能量分辨率为0.5eV时，灵敏度应不低于1000kcps。 13. 电荷中和系统，配置双束中和系统，同时具有电子中和和离子中和功能，能量分辨率和灵敏度：对PET绝缘样品，在O-C=O结构中C1s峰能量分辨(FWHM)优于0.68eV时，C-C结构中C 1s峰的灵敏度（正常工作条件下的真实测量值）优于30kcps。 14. 原位样品制备室，独立的外挂于样品制备室上的腔体，不可与分析室直接对接，有独立的抽空系统。 15. UPS紫外光电子能谱，能量分辨率：对Ag费米边，能量分辨率应不大于100 meV；灵敏度：能量分辨率小于100meV时，灵敏度（Ag4d）≥1,000,000 cps。 16. 原位X射线荧光光谱仪（EDXRF）：通过高能X射线源激发高能X射线配备X射线荧光光谱仪功能；可原位的实现样品体相元素成分及表面元素成分分析测试。 17. 数据库：包括完整的XPS、AES和ISS数据库。带有Knowledge Base XPS标准谱图数据库并必须集成到系统分析软件中，可用软件直接打开标准谱图数据，并提供终身免费升级，实验数据（原始数据及分析结果）可存为通用格式，并能导入Microsoft Office 软件。 18. 软件介质：以安装光盘形式提供。