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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院硅工艺电子束蒸镀机采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院硅工艺电子束蒸镀机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院硅工艺电子束蒸镀机采购项目 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 电子束蒸镀机1套，该设备用于金属电极的蒸镀；技术要求：极限真空镀≤2E-8 Torr，腔体暴露大气后抽至 5E-7Torr 的时间≤30 分钟;装样能力最大8英寸基片或多个小片；膜厚均匀性在5英寸基片上≤±5%，批次间膜厚重复性≤±2%；蒸发速率分辨率0.01A/s;膜厚分辨率0.1A；样品台0-20rpm连续自转，可加热至800°C。交付时间要求：签订合同后12个月内；交付地点要求:中山大学东校区；售后服务要求（含培训）：质保时间2年，负责免费安装、测试、验收，为用户方提供多人次的免费培训。8小时内电话响应，2 个工作日内到达用户现场维修，免费提供 7X24 小时电话、邮件技术支持。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。