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南京大学2022年11至12月政府采购意向-快速退火炉 详细情况
2022年10月18日 16:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 快速退火炉 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 快速退火炉 |
| 预算金额： | 340.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购快速退火炉两台，参数性能满足：不低于6英寸晶圆，最高温度不低于1200度，温度差异低于±2度，温度均匀性0.5%，升温速率100度/秒，6-8寸样品台，配机械泵抽真空，气体Ar，N2，O2；服务要求：可提供技术支持和售后服务，设备质保期12个月。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。