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中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向-减压硅锗外延设备 详细情况
2023年09月02日 23:15 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 减压硅锗外延设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 减压硅锗外延设备 |
| 预算金额： | 2000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 新采购1台减压硅锗外延设备，用于芯片高迁移率沟道生长与器件制备，实现不同腔体N型原位掺杂的异质薄膜生长。主要性能指标为：1. 实现单晶Si/Ge/GeSi外延生长；2. 温度300-1150℃；3. 配备多管气路，实现N型原位掺杂；4. 配备有HCl可进行选区外延生长；能够在1年内交付。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。