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同济大学2022年10至12月政府采购意向-大型双功能柱对称磁控溅射镀膜机改造 详细情况

2022年10月25日 20:43 来源: 中国政府采购网 打印

大型双功能柱对称磁控溅射镀膜机改造
项目所在采购意向: 同济大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位: 同济大学
采购项目名称: 大型双功能柱对称磁控溅射镀膜机改造
预算金额: 160.000000万元(人民币)
采购品目:
A9999其他不另分类的物品
采购需求概况 :
从100mm-300mm直径柱面镜制备能力,拓展为10mm-550mm直径的柱面镜制备能力,实现亚纳米级的超高控制精度。并改变工作气体充入方式加入多种工作气体自由切换能力,满足新薄膜材料的制备需求
预计采购时间: 2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。