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中国科学院上海技术物理研究所2025年6至12月政府采购意向-大写场高精度高速窄线宽制备系统 详细情况
2025年06月25日 19:51 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 大写场高精度高速窄线宽制备系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 大写场高精度高速窄线宽制备系统 |
| 预算金额： | 406.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02201100航天专用工艺设备 |
| 采购需求概况 ： | 1）基底尺寸:兼容50mm、100mm、150mm、200mm直径圆形基底，厚度0.2mm-1mm;
2）定位精度:0.2mm;
3）压印结构精度:小于10nm; |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。