A02110204半导体器件参数测量仪

集成电路学院拟采购光波导集成器件耦合测试系统1套。 主要技术指标：可以同时进行光波导集成器件水平耦合和垂直耦合；按指定器件提供水平及垂直耦合的夹具，芯片夹具，夹具同时有机械夹紧及真空吸附固定方式；精密六轴自动调节台5个（耦合输入端2个，样品固定1个，耦合输出端2个），每个调节台能进行线性XYZ及角度thetaX、thetaY、thetaZ的调节，调节台旋转中心为空间一点；精密六轴自动调节台线性调节行程70mm，驱动分辨率优于50nm，角度调节行程8degree,驱动分辨率优于0.001°。 交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。 交付地点：中山大学深圳校区理学园。 售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。