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暨南大学2023年10月政府采购意向-暨南大学光子技术研究院采购大尺寸微晶基片加工服务 详细情况
2023年09月05日 15:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 暨南大学光子技术研究院采购大尺寸微晶基片加工服务 | |
| 项目所在采购意向： | 暨南大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 暨南大学 |
| 采购项目名称： | 暨南大学光子技术研究院采购大尺寸微晶基片加工服务 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C010303材料科学研究服务 |
| 采购需求概况 ： | 1、 甲方提供毛坯基片（Zerodur Class 0 472*372*11毛坯）
2、 基片加工尺寸470*370*10，长宽公差≤±0.1，厚度≤±0.05
3、 平行度≤0.002，垂直度≤2”
4、A、B面形：有效口径（中部460mm×360mm）范围内PV值＜0.8λ@λ=0.6328μm；任意10mm×10mm范围PV值<10nm；干涉条纹均匀光滑，无突变；
5、 A、B面下2mm内无气泡；
6、厚度彼此相差<5um;
7、 未注加工尺寸公差应符合GB/T 1804-m要求，未注加工形位公差应符合GB/T 1184-K要求；
8、 边保护性倒角C0.5，四角倒角为C3 ；
9、 清洗去除抛光粉和污渍；
10、 建议采用环抛工艺加工；
11、 C、D、E、F边在A、B面初抛并留足尺寸后，再另外单独加工；最后再将A、B面抛光至要求参数
12、 美军标≤40/20
13、 提供所有参数测试报告；
14、 收到材料后30天交货（10片一批来计算）
15、 超差不予接收 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。