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清华大学2023年10月政府采购意向-RTP快速退火炉 详细情况
2023年07月08日 12:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| RTP快速退火炉 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | RTP快速退火炉 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100899其他量仪 |
| 采购需求概况 ： | 兼容8寸及以下晶圆，室温~1250℃，最高升温速率≥150℃/s，温度均匀性＜600℃时温度均匀性：±3℃
＞600℃时温度均匀性：±0.5%，10组控温区域，保证恒温区温度稳定性，极限真空1×10^-3Pa |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。