当前位置：采购意向项目详情
华南理工大学2022年11月政府采购意向-高真空磁控溅射镀膜机 详细情况
2022年10月10日 17:23 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高真空磁控溅射镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 高真空磁控溅射镀膜机 |
| 预算金额： | 468.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100499其他分析仪器 |
| 采购需求概况 ： | 本项目拟采购高真空磁控溅射镀膜机1套；采购用途：用于进行加工沉积高质量、厚度精确控制的金属单质、氧化物半导体以及化合物薄膜。采购货物需满足以下要求：在系统洁净、空置时优于9 x 10-8Torr ； 配置3路气体（1*100sccm2*20sccm）流量控制，气体反应溅射，全自动高精度控制系统，薄膜不均匀性≤±5%；软件对溅射工艺中每个要素的完全控制；软件提供完整的工艺集成来提升工艺的稳定性，可切换手动自动2种操作模式。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。