A032103电子工业专用生产设备

集成电路学院拟采购接触式光刻机（微米级）1套。 主要技术指标：UV-LED曝光系统，i线光功率密度大于30mW/cm2;恒剂量曝光，无需重复频繁测量光强来计算曝光时间；可同时实现“高分辨率”和“大具有稳定可靠的芯片厚度补偿系统，可对芯片进行自调平和真空吸附；由计算机进行工艺参数设定，具有专用控制软件，软件具有工艺参数设置、设备控制、硬件自我故障诊断与检测功能，操作方便快捷；曝光范围最大200mm圆形；支持最大晶圆厚度5.5mm,晶圆厚度在系统中自动设定调节，无需手调；具有多套夹具。 交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。 交付地点：中山大学深圳校区理学园。 售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。