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中山大学2023年12月政府采购意向-中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目 详细情况
2023年11月28日 10:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学物理学院氢化物气相外延沉积系统采购项目 |
| 预算金额： | 165.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 购买氢化物气相外延炉(HVPE)一套。该设备用于生长氧化物薄膜；技术要求：氢化物气相外延炉(HVPE)要求能生长2英寸、4英寸外延片，组件包括工艺管、内衬管、镓舟、气体喷头与衬底托。加热器工作温度：100℃~1100℃，温区加热段数不小于六温区，控温精度优于0.5℃。设备真空系统配备进口耐腐蚀干泵，气路不少于9路，其中特气种类不小于5路，以实现多反应气体混合，结合镓舟实现对不同区域气体浓度与流量实现调控。能够成功外延生长氧化镓，生长的氧化镓同质外延膜厚度可达到大于20微米。交付时间要求：签订合同后半年，交付地点要求：指定实验室；售后服务要求（含培训） ：保修两年，合同签订后4个月内交付并派人上门安装。到货后，提供免费安装调试服务直至验收合格。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | 欢迎供应商提前参与该项目的购前调查，以便采购人更好地了解贵公司和相关产品与服务的优势。请复制以下链接，用浏览器粘贴打开调查页面。https://survey.choicelink.cn/sysu/PurchaseIntention?id=36124f2911234d3db8e4e760e566999e&tenant=2198&token=1 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。