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西安理工大学2026年03月至2026年04月政府采购意向-低压化学气相沉积控制系统 详细情况
2026年03月09日 13:51 来源： 陕西省政府采购网 【打印】
| 低压化学气相沉积控制系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安理工大学2026年03月至2026年04月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安理工大学 |
| 采购项目名称： | 低压化学气相沉积控制系统 |
| 预算金额： | 138.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:低压化学气相沉积控制系统 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:用于半导体薄膜沉积。提供丰富的工艺参数，研究半导体薄膜结晶质量优化与电学特性控制的CVD工艺。 需满足的要求:支持4H/6H SiC单晶薄膜沉积的气氛环境与温度范围。 |
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。