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中国科学院兰州化学物理研究所2025年7至3月政府采购意向-超高真空半导体晶圆摩擦磨损测试系统 详细情况
2025年08月28日 21:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超高真空半导体晶圆摩擦磨损测试系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院兰州化学物理研究所2025年7至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 采购项目名称： | 超高真空半导体晶圆摩擦磨损测试系统 |
| 预算金额： | 198.800000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100510 |
| 采购需求概况 ： | 以半导体晶圆缺陷容忍度低、航天科技及前沿材料研发中摩擦学问题为导向，对大尺寸半导体晶圆子在高真空环境下的摩擦磨损行为进行测试，为半导体行业提供从材料研发到工艺验证的全链条试验支持，突破高端晶圆制造 “卡脖子” 技术。 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。