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西安电子科技大学2026年4月政府采购意向-化学气相沉积薄膜制备系统 详细情况
2026年03月12日 16:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 化学气相沉积薄膜制备系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2026年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 化学气相沉积薄膜制备系统 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062099 其他电气机械设备 |
| 采购需求概况 ： | 1.基片尺寸不小于4寸；2.SRF电源：1000W,13.56MHz; 3.样片温度：室温~300℃，控温精度±2℃; 4.沉积速率：SiO2/SiNx:20~200nm/min; 5.均匀性：≤±5%@（去除边缘效应） |
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。