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华南理工大学2022年11月政府采购意向-原子层沉积（ALD）设备采购 详细情况
2022年10月19日 08:23 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积（ALD）设备采购 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积（ALD）设备采购 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A030603陶瓷制品生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本次拟购置的原子层沉积（ALD）设备是III-V族化合物半导体芯片制备领域的高端设备。该设备可在较低温度下沉积原子层级别厚度的氧化物、氮化物以及金属等薄膜材料，同时其沉积薄膜的高保形特性可有效提升材料晶体质量和芯片性能以及改善芯片性能的稳定性。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。