A02109900其他仪器仪表

（一）采购标的名称： 二维半导体晶圆制备系统 （二）采购标需实现的主要功能或者目标 二维半导体晶圆制备系统包括8英寸垂直式薄膜生长原型机和12英寸垂直式控制生长模型机。通过系统集成，可在化学气相沉积反应过程中记录光谱学信息，分析出材料生长的固相前驱体的升华和扩散过程，促进对二维材料单晶薄膜生长机理和工艺参数的理解。通过迭代研制8英寸和12英寸垂直式控制生长模型机，进一步提高工艺参数的精确性和稳定性，扩大单晶薄膜的生长尺寸，提升获得高质量二维半导体材料的可控性和可重复性。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后10个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。