A032103电子工业专用生产设备

中山大学光电材料与技术国家重点实验室拟采购电子束蒸发镀膜仪一套。主要技术指标：极限真空好于5x10e-8托；腔体高度大于900mm；横向尺寸大于450mm×500mm；样品台尺寸不小于8英寸；样品台可沿着横向和纵向轴线分别做连续的倾斜转动和水平转动；样品台沿横轴的倾斜角0-35°连续可调；样品台沿纵轴转动转速0-20 rpm连续可调，转速调节步长~0.005 rpm；可蒸镀的靶材包括Au, Ag, Al, Cr, Ti, Ni, Fe, Pt, Pd, SiO2, TiO2, Si, C；薄膜蒸镀速率可稳定在每秒0.1纳米；靶材选择、样品台倾斜角、样品台转速、蒸发过程全部编程可控。交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。交付地点：中山大学光电材料与技术国家重点实验室。售后服务要求：3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。