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吉林大学2022年11至12月政府采购意向-键合机 详细情况
2022年11月04日 08:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 键合机 | |
| 项目所在采购意向： | 吉林大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 吉林大学 |
| 采购项目名称： | 键合机 |
| 预算金额： | 270.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A020599其他机械设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购的键合机应具备高精度键合功能，可以自动调整叠层厚度；最大压力≥20kN；真空度≤5E-5mbar；传输工具上的三个晶圆夹持装置，呈120°角分布，可单独控制，确保夹持稳定可靠；其中心板及键合压力板均为SiC材制；上下键合板独立温控，最高温度≥500℃。主要指标如下：
1控制系统：主控制系统为Windows 计算机检测和控制系统；
2真空及气氛控制系统：配置高真空涡轮分子泵、真空检测和显示系统。
3键合腔体：
3.1通过软件控制向工艺腔室输入气体；
3.2键合腔体舱门开启时自动气体吹扫；
3.3晶圆夹具通过导轨载入腔体；
3.4腔体配有观察窗及腔内照明；
3.5最高真空度≤5E-5mbar。
4温控系统：
4.1最高温度≥500℃；
4.2能够对上下加热板进行独立温度控制，程序可控升温速率，最高升温速度≥25℃/min；
4.3配置冷却系统实现快速冷却，程序可控降温速率，最高降温速度≥15℃/min。
4.4 温度均匀性≤±2%
4.5 温度重复性≤±5℃
5压力系统：
5.1最大键合压力≥20kN；
5.2配置键合压力产生系统、键合头及键合压力头，键合压力和腔室压力分别独立控制；
6芯片传输与夹持：传输夹具中心板为碳化硅材质，外围为钛合金或不锈钢材质。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。