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华南理工大学2022年11月政府采购意向-电子束蒸发系统 详细情况
2022年10月10日 17:23 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束蒸发系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发系统 |
| 预算金额： | 1020.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100499其他分析仪器 |
| 采购需求概况 ： | 采购用途（共2台）： 利用电子束这种高速的电子流对膜料轰击产生的热效应实现薄膜蒸镀。设备含多个蒸发源，可以制备多层堆垛薄膜，电子束蒸发是真空蒸镀的一种。电子束蒸发镀膜机可以蒸发高熔点材料，可沉积各种金属材料包括难熔金属、绝缘材料的高纯度、高质量薄膜样品，比一般热蒸发镀膜机的热效率高、束流密度大、蒸发速度快，制备的薄膜纯度高、质量好，薄膜的厚度可以较准确地控制。电子束蒸发系统在微纳米加工技术中占有重要地位. |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。