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北京科技大学2025年7至12月政府采购意向-集成电路电极材料超高真空互联物理沉积镀膜系统 详细情况
2025年07月01日 17:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 集成电路电极材料超高真空互联物理沉积镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京科技大学2025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京科技大学 |
| 采购项目名称： | 集成电路电极材料超高真空互联物理沉积镀膜系统 |
| 预算金额： | 735.198400万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | （一）采购标的名称：集成电路电极材料超高真空互联物理沉积镀膜系统
（二）采购标需实现的主要功能或者目标
该系统主要包含8英寸超高真空原位刻蚀/蒸发镀膜系统和8英寸超高真空多靶位磁控溅射镀膜系统，用于纳米器件、光电器件、二维集成电路的金属电极、氧化物栅介质层、氧化物前驱体等各种金属/非金属单层、多层膜的高均匀性、高可靠性、高重复性制备。
（三）采购标的数量：1套
（四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求。 |
| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。