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上海交通大学2024年10至11月政府采购意向-原子层沉积仪 详细情况
2024年09月30日 12:42 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积仪 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2024年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积仪 |
| 预算金额： | 440.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02339900其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购1台原子层沉积仪，用于实现介质及金属薄膜的原子层沉积，尺寸不小于8寸晶圆且向下兼容，实现热法、等离子增强两种模式，系统包含3路以上前驱体源、前驱体加热等配置。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。