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中山大学2025年1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院电子束蒸发系统采购项目 详细情况
2024年12月02日 20:34 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学电子与信息工程学院电子束蒸发系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2025年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与信息工程学院电子束蒸发系统采购项目 |
| 预算金额： | 174.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100502非金属材料试验机 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：电子束蒸发系统
数量：1套
用途：沉积Al2O3、Ti、Au等材料。
技术要求（仅列主要，详见采购文件）：
1. 最大样品尺寸8英寸，向下兼容小尺寸样品。
2. *腔本底真空度优于3 ×10E-7 Torr。
3. *镀膜均匀性：8inch样品范围内镀膜厚度均匀性优于±3%；镀膜条件为：8 inch样品表面镀Ti膜，镀膜厚度200 nm，测量衬底表面5个点的厚度，均匀性计算公式为：Uniformity = (Tmax-Tmin)/(Tmax+Tmin) ≤ ±3%。
4. 样品可以水冷，并且同时可以选择倾斜。
5. 腔体配备大抽速分子泵和前级干泵。
具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，6个月内交货到采购人指定地点，具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。