当前位置：采购意向项目详情
中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-高深宽比限域结构刻蚀机 详细情况
2025年10月17日 18:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高深宽比限域结构刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 高深宽比限域结构刻蚀机 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02209900其他航空航天工业设备 |
| 采购需求概况 ： | （1）承片台尺寸：>=200mm
（2）刻蚀非均匀性：<=±5%；
（3）刻蚀深宽比：>=10:1 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。