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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-等离子增强化学气相沉积 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子增强化学气相沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 等离子增强化学气相沉积 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
工艺腔基座：AlN陶瓷加热器；
腔体温度：最高可达550℃；
高频电源功率：≥ 1500W；
低频电源功率：≥ 1500W；
工艺腔本底真空：≤ 20 mTorr；
工艺腔体漏率：≤ 5 mTorr/min；
工艺气体：N2, He, SiH4, NH3，O2 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。