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复旦大学2024年11月政府采购意向-原子层沉积设备 详细情况
2024年10月29日 09:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 215.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | （1）真空内外双腔结构；
（2）反应温度≥450℃；
（3）配置可以放置≥6英寸晶圆的载片台，并向下兼容；
（4）配置≥4路液态前驱体源系统；
（5）配置ICP远程感应耦合等离子体系统，射频电源≥500W；
（6）配置≥3路等离子体气路；
（7）配置高性能真空系统及沉积自动控制系统；
（8）配置自动样品传输腔和机械手，可以实现单片≥6英寸片真空自动取放。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。