当前位置：采购意向项目详情
中山大学2022年11月政府采购意向-精密抛光系统 详细情况
2022年10月17日 16:54 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 精密抛光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 精密抛光系统 |
| 预算金额： | 110.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：精密抛光系统
数量：1套
用途：该设备用于加工硅光芯片相关器件，实现硅光芯片端面的高精度抛光和硅光芯片的高精度减薄等技术突破，为先进硅光芯片制作提供所必须的加工条件。同时，该系统属于基础加工设备，可对灵活设计的硅光芯片进行端面抛光与减薄，可对硅、氮化硅、铌酸锂、金刚石等平台的样品进行高精度的研磨抛光加工，可对相关学科及方向实现共享，也可用作实验教学，能极大发挥其公共服务效益。
技术要求：硅，氮化硅，铌酸锂，金刚石等样品的减薄范围100um以下，并可进一步抛光10um至20um；可对硅片端面进行研磨抛光，适用片上波导传输；可对抛光压力进行调节，可对抛光液流速进行调节；可对样品进行准直调节。
交付时间要求：2022-11
交付地点要求：国重室425室
售后服务要求：设备到位后两周内安排技术培训 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。