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中国科学技术大学2023年10至12月政府采购意向-磁控溅射系统 详细情况
2023年10月07日 11:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 磁控溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射系统 |
| 预算金额： | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1、用于生长量子功能薄膜材料，完成科研项目材料物性、器件性能研究。
2、磁控溅射系统，1套，参数满足：1) 主腔背底真空度优于1x10-6 Pa；
2) 加热温度不低于800 ?C，温度波动范围<1 ?C，温度自动控制；
3) Load lock 传片，高真空背景传递；4) PC/PLC自动控制界面，菜单控制，数据获取和远程控制；
5)具有多个射频溅射、直流溅射。该磁控溅射系统用于生长薄膜材料，完成科研项目材料物性、器件性能研究。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。