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中山大学2022年11月政府采购意向-生物医学工程学院感应耦合等离子体刻蚀机采购项目 详细情况
2022年10月12日 17:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 生物医学工程学院感应耦合等离子体刻蚀机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 生物医学工程学院感应耦合等离子体刻蚀机采购项目 |
| 预算金额： | 77.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购感应耦合等离子体刻蚀机一台，用于科研实验室科研设备更新改造。
技术要求：
1、刻蚀腔体尺寸：Φ350mm*H300mm，铝质桶形卧式结构，上盖可自动开闭；
2、Load-lock腔体尺寸：L500mm*W400mm*H200mm，铝质卧式结构，上盖自动开闭；
3、极限真空度：刻蚀室：≤5×10-4Pa，Load-lock室：≤6.7×10-1Pa；
4、刻蚀室系统漏率：5×10-7Pa.l/s；
5、刻蚀室静态升压：系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa；
6、抽速：系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气抽至5×10-3Pa时间小于30min；
7、射频阴极尺寸：不小于Φ200mm。
预计交付时间：2023年6月-10月；交付地点：中山大学深圳校区；售后服务要求：保证安装到位、及使用培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。