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吉林大学2022年11月政府采购意向-超大视场扫描精密定位系统 详细情况
2022年10月14日 10:43 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超大视场扫描精密定位系统 | |
| 项目所在采购意向： | 吉林大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 吉林大学 |
| 采购项目名称： | 超大视场扫描精密定位系统 |
| 预算金额： | 135.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02120199其他长度计量标准器具 |
| 采购需求概况 ： | 主要配置包括：XY轴直线电机气浮导轨位移台，Z轴直线电机位移台，二维扫描振镜，运动控制器以及各运动轴配套的驱动器。
1. XY轴直线电机气浮导轨位移台
1.1 XY轴行程：200mm × 200mm
1.2 定位精度：±0.4μm
1.3 重复定位精度：±0.1μm
1.4 直线度：±0.5μm
1.5 平面度：±0.5μm
2.Z轴直线电机位移台
2.1行程：60mm
2.2 定位精度：±175nm
2.3 重复定位精度：±75nm
2.4 直线度：±1.5μm
2.5 平面度：±1.5μm
3.二维扫描振镜
3.1 通光孔径：10mm
3.2 扫描角度：±20°
3.3 定位精度：50μrad（峰峰值）
3.4 重复定位精度：0.4μrad（均方根值）
4.运动控制器及驱动器
4.1 支持无限视场扫描技术(IFOV)
4.2 直线电机驱动器采用3U结构，集成线性放大器
4.3 支持二维（XY轴）位置同步输出
4.4 支持.Net及C++等编程语言进行二次开发
4.5 高速Hyperwire光纤通讯接口 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。