A033499其他专用仪器仪表

1）高精度大理石水平导轨；包括50米长导轨及1米长度基准仪器支撑。技术要求：水平面内的直线度不大于：0.003mm/m；0.015mm/4000mm；0.1mm/50m；侧导向面的直线度不大于：0.003mm/m；0.02mm/4000mm；0.15mm /50m。导轨支撑系统采用可调整装置，以便地基发生轻微沉降时，可对导轨进行调整，保证导轨精度。 2）高精度定位控制系统：实现往复运动控制，定位精度好于0.05mm，配有专用控制软件等； 3）高精度气浮运动系统；包括气动运动平台1套，运动平台上具安装附件的螺纹孔，需有足够空间便于安装光学附件及被测仪器附件的安装位置。承重：≥30kg； 4）竖向导轨、运动系统、光栅尺及控制系统；采用大理石基运动导轨及工作台，工作台有效行程不少于3m，采用自动方式，其技术指标同水平方向，并配全量程光栅尺，精度好于1微米。导轨支撑系统采用可调整装置，以便地基发生轻微沉降时，可对导轨进行调整，保证导轨精度。