A02052402 真空应用设备

（1）采购标的名称：原子层薄膜沉积仪； （2）主要功能或目标：原子尺度的薄膜制备技术。可以沉积均匀一致，厚度可控、成分可调的超薄薄膜。是制作纳米结构从而形成纳米器件极佳的工具.。该设备需兼容基片尺寸12英寸，加热温度： 600℃；均匀性： < 1%；前驱体数：选配10路； （3）标的物数量：1套 （4）标的物需满足的质量、服务、安全、时限等要求：货物需具备良好的质量保证及稳定性，货源来自原厂、正规和可靠的途径，在货物质保期内，如货物出现质量瑕疵或缺陷，供方需免费更换备件或者维修。供应商在服务期内需指定1名工程师对接我校提供技术支持与运行保障服务，提供定时巡检、技术支持、设备维保服务。供货、运输、实施时要确保货物、场地、人员安全，严格遵守学校安全管理规定和疫情防控要求。供应商需对我校师生提供免费的技术培训、操作培训及日常维护培训。设备运行期间出现故障，应尽快到现场解决。