当前位置：采购意向项目详情
中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-半导体微区电容和扩散电阻扫描显微镜 详细情况
2026年02月26日 10:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 半导体微区电容和扩散电阻扫描显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 半导体微区电容和扩散电阻扫描显微镜 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100600-试验仪器及装置_A02100699-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 键合材料界面处的载流子传输特性、分布情况对材料和器件性能的影响十分关键。其界面处的陷阱态密度，载流子捕获，电荷杂质散射等界面效应对该材料的影响远大于传统体半导体材料。半导体微区电容扫描和扩散电阻扫描显微镜是针对键合材料界面微区的电场表征设备，在材料设计和工艺监控方面发挥重要作用。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。