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东北师范大学2025年2至12月政府采购意向-等离子增强化学气相沉积设备 详细情况
2025年02月18日 09:59 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子增强化学气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 东北师范大学2025年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东北师范大学 |
| 采购项目名称： | 等离子增强化学气相沉积设备 |
| 预算金额： | 360.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02310500药用干燥设备 |
| 采购需求概况 ： | 我校本次采购的等离子增强化学气相沉积设备主要用于硅基材料生长，并与现有刻蚀等设备联合使用构筑三维薄膜器件结构，提升传感单元、存储单元和逻辑单元等核心技术水平，助力国重实验室和双一流学科团队科研能力提升。设备通过通入多种反应气体或有机金属前驱体在加热衬底上生长薄膜材料，辅助金属气体分解产生低热预算的沉积方式，具有更好的工艺兼容性。具体需求：SiO2/SiN/SiON/Si工艺沉积，RF射频电源采用晶体震荡匹配，高真空系统，配备送样室。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。