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清华大学2022年12月政府采购意向-8英寸多靶材PVD机台 详细情况
2022年11月26日 16:04 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 8英寸多靶材PVD机台 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 8英寸多靶材PVD机台 |
| 预算金额： | 2600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100701其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购8英寸多靶材PVD机台1台，技术参数要求：本系统包含：1个旋转衬底模块（RSM）；1个联合工艺模块（CPM）；1个小型热处理工艺模块（sTPM）；1个中央传输模块（TMC）, 工艺气体压力及纯度：N2: 1bar 5N, Ar: 1bar 6N, O2: 1bar 6N…… |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。