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华南理工大学2022年3月政府采购意向-分子束外延与磁控溅射联用设备 详细情况
2022年02月24日 16:30 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 分子束外延与磁控溅射联用设备 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | 分子束外延与磁控溅射联用设备 |
| 预算金额： | 240.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A030603陶瓷制品生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本采购计划预计采购设备主要由快速进样腔、生长腔组成，真空系统烘烤后压强小于5*10－10mbar；能够满足连续6片以上的2英寸样品生长；
外延生长原子级精确控制的超薄多层二维结构材料，包括超晶格、量子阱、调制掺杂异质结等，主要是Ga、In系二维材料，如GaS、GaSe、In2S3等，和GaAs量子点；
沉积薄膜尺寸≥2英寸，以椭偏仪进行膜厚测试，生长Ga、In系二维材料膜厚标准偏差小于等于正负3%，要求量子点尺寸在100纳米以下，且分布均匀 |
| 预计采购时间： | 2022-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。