A02102100教学仪器

采购项目名称：西南交通大学激光直写光刻机采购。采购数量：1套。主要功能：能够利用多种近紫外光刻胶制备任意微纳功能结构，例如掩模版、集成电路结构、芯片功能微结构、MEMS/NEMS等。 主要技术指标：可保证不小于100 mm × 100mm范围内准确曝光，最小基片尺寸5mm × 5mm；可光刻最小结构尺寸≤0.5um；具有对准套刻功能；对准精度接近或优于±0.5um；书写速度不低于100mm2/min@1um和200mm2/min@2 um； 其他要求：具有6英寸真空吸附工作台和X、Y、Z、J多轴精密运动系统。位置分辨率≤10 nm；X-Y移动范围不低于100mmX 100mm；具备自动对焦能力，Z轴调整精度≤10nm；支持256阶的3D灰度光刻；支持GDSII、BMP、STL等多种数据格式；设备带有整体大理石基座，且自带高精密气浮隔振系统。