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中山大学2024年12至1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院激光刻蚀加工系统采购项目 详细情况
2024年12月02日 19:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学电子与信息工程学院激光刻蚀加工系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2024年12至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学电子与信息工程学院激光刻蚀加工系统采购项目 |
| 预算金额： | 98.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062300电气设备零部件 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：激光刻蚀加工系统
数量：1套
用途：设备包含飞秒激光器和精密位移台，可以实现微米精度的图案刻蚀，直接刻蚀出图案，无需掩模，无接触污染，可以高效实现各种微结构的可控制备，解决项目攻关的关键技术问题。
技术要求（仅列主要，详见采购文件）：
主机参数：
1、★刻蚀最小线宽≤1.4 μm
2、飞秒激光器
(1) 波长范围：1030nm±10nm
(2) 重复频率：50kHz~1MHz
(3) ▲脉冲宽度：<600fs
(4) 单脉冲能量：100μJ
(5) ▲输出功率：20W
(6) 功率稳定性：<3%
(7) 光斑尺寸：3mm
(8) 光束质量: TEM 00、M²≤ 1.2
3、三轴位移平台
(1) 位移平台行程范围：XY≥110mm，Z轴≥35mm
(2) 位移平台移动速度：≥100 mm/s
(3) ★位移平台重复定位精度：≤150nm
4、导光光路
(1) 反射镜：1030nm low GDD 45°高反镜，镜架若干
(2) 1/4玻片，扩束镜，能量控制器5%-95%
(3) ▲物镜：20倍，50倍
5、支持激光器出光控制、XYZ轴控、机器视觉调控成像、能量衰减调节、偏振器控制等，支持加工路径函数导入、支持三轴联动
支持2D、3D文件导入，支持 BMP、DXF、STL 文件格式
交付时间要求：2025年7月15日
交付地点要求：广州市海珠区中山大学南校园557栋
免费保修时间：
2年
保修范围：
整机
售后服务要求：
24小时响应，72小时提供解决方案
培训要求：
2次现场培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、调试，数据处理、基本仪器维护，故障排除等。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。