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中国科学院上海硅酸盐研究所2025年2至12月政府采购意向-多层电极磁控溅射镀膜机 详细情况
2025年02月24日 08:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多层电极磁控溅射镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海硅酸盐研究所2025年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 采购项目名称： | 多层电极磁控溅射镀膜机 |
| 预算金额： | 135.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052499其他真空获得及应用设备 |
| 采购需求概况 ： | （2）功能：用于完成特殊需求的压电单晶元件表面电极制备工作，以解决特殊需求的压电单晶元件表面多层电极制备问题；（3）数量：1台；（4）主要技术参数：真空度：<8.0×10-5Pa；溅射靶源：3只；真空系统漏率：<1.0×10-7 Pa·L/s；离子源清洗。 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。