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北京航空航天大学2025年12月政府采购意向-北京航空航天大学生物与医学工程学院激光直写光刻机 详细情况

2025年11月07日 15:03 来源: 中国政府采购网 打印

北京航空航天大学生物与医学工程学院激光直写光刻机
项目所在采购意向: 北京航空航天大学2025年12月政府采购意向
采购单位: 北京航空航天大学
采购项目名称: 北京航空航天大学生物与医学工程学院激光直写光刻机
预算金额: 105.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100309-激光仪器
采购需求概况 :
计划采购激光直写光刻机一套,用于微纳电子器件光刻加工,制造相关电子器件主要应用于微纳生物传感和脑机接口等应用方向,为教学和科研中微纳电子器件制备提供重要制造平台支撑。性能要求:线宽1微米,最大直写面积150*150mm,光源为405nm和375nm, 电动物镜切换(时间300ms),重复定位精度400nm;
预计采购时间: 2025-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。