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东北师范大学2022年11月政府采购意向-大腔体MPCVD 详细情况
2022年10月17日 17:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 大腔体MPCVD | |
| 项目所在采购意向： | 东北师范大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东北师范大学 |
| 采购项目名称： | 大腔体MPCVD |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A03 |
| 采购需求概况 ： | 采购标名称：MPCVD系统及配套设备；
采购标数量：1台套；
主要功能和目标：
单晶金刚石及其他薄膜的制备；须满足的质量参数目标：MPCVD主系统(1) 功率为6KW及以上，频率为2.45GHz；(2) 水冷式金属腔体及生长台；(3) 标准衬底托直径2英寸（50毫米）及以上；(4) 标准气路3路及以上；(5) 工作压力范围10-220 Torr；(6) 在大范围微波功率密度内，等离子球保持高度稳定性；配套设备：氢气发生器：(1) 氢气纯度在99.99999%（7N）以上；(2) 稳定输出6sccm以上的氢气，1/4"MVCR,1.5-3bar；激光切割机：（1）激光切割金刚石的损失小到2%以下；（2）切割面均匀平整，不平整度在20um以内；（3）实现连续自动化。服务：对主系统及配套设备安装和调试、使用前培训、终身维修；采购在需在2022年12月底前进行。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。