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华中科技大学2025年4至11月政府采购意向-双面曝光机 详细情况
2025年03月12日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 双面曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 双面曝光机 |
| 预算金额： | 380.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
1、晶圆尺寸：1" to 200 mm
2、接触类型：soft, hard, vacuum
3、接近式曝光的间隙： 1–300 μm
4、间隙设置精度： 1 μm
5、分辨率：UV300 < 0.7 μm
6、顶部对准精度 (TSA accuracy)： < 0.5 μm
7、底部对准精度 (BSA accuracy)： < 1.0 μm |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。