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天津大学2022年11至12月政府采购意向-聚焦离子束/扫描电镜双束系统 详细情况

2022年11月02日 15:49 来源: 中国政府采购网 打印

聚焦离子束/扫描电镜双束系统
项目所在采购意向: 天津大学2022年11至12月政府采购意向
采购单位: 天津大学
采购项目名称: 聚焦离子束/扫描电镜双束系统
预算金额: 800.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100305电子光学及离子光学仪器
采购需求概况 :
1.液态Ga离子源;交叉点分辨率:优于 4.0nm @ 30kV,束流强度1pA - 60nA,离子源寿命:≥ 1000小时。 2.拥有独立的分离式气体注入系统,可重新配置;具备金属沉积系统,可在离子束、电子束诱导下进行Pt、Au、W等金属的沉积;具备由离子束和电子束配合,切片与成像,合成三维图像的功能。 3.电子枪类型:肖特基(ZrO/W)场发射灯丝 分辨率:在最佳工作距离:优于1 @ 15kV;1.2nm @ 1kV在束交叉点分辨率:1.2nm @ 15kV;1.6nm @ 1kV。 4.能谱仪面积不小于100mm2
预计采购时间: 2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。