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南京大学2022年4月政府采购意向-紫外接触式曝光机 详细情况
2022年03月21日 16:15 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 紫外接触式曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2022年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 紫外接触式曝光机 |
| 预算金额： | 228.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 名称：紫外接触式光刻机。数量：1套。主要功能：通过精密的光学系统，将掩模版上的图形投影到晶圆和芯片上，并使得预先旋涂的光刻胶发生光学反应，结合后续的显影工艺，实现微小结构图形转移；需要具备正面对准和背面对准的功能，并具备硬接触和真空接触等曝光模式。质保期：自仪器验收之日起不少于1年。 |
| 预计采购时间： | 2022-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。