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华南理工大学2022年11月政府采购意向-微波等离子化学气相沉积 详细情况
2022年10月10日 17:23 来源: 中国政府采购网 【打印】
微波等离子化学气相沉积 | |
项目所在采购意向: | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
采购单位: | 华南理工大学 |
采购项目名称: | 微波等离子化学气相沉积 |
预算金额: | 770.000000万元(人民币) |
采购品目: | A02100499其他分析仪器 |
采购需求概况 : | 本项目计划购置的微波等离子化学气相沉积技术(MPCVD)适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。MPCVD是制备大尺寸单晶金刚石有效手段之一。该方法利用电磁波能量来激发反应气体。由于是无极放电,等离子体纯净,同时微波的放电区集中而不扩展,能激活产生各种原子基团如原子氢等,产生的离子的最大动能低,不会腐蚀已生成的金刚石。
通过对MPCVD沉积反应室结构的结构调整,可以在沉积腔中产生大面积而又稳定的等离子体球,因而有利于大面积、均匀地沉积金刚石膜,这一点又是火焰法所难以达到的,因而微波等离子体法制备金刚石膜的优越性在所有制备法中显得十分的突出。 |
预计采购时间: | 2022-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。