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复旦大学2023年11月政府采购意向-真空流片工艺集成系统 详细情况
2023年10月19日 10:47 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 真空流片工艺集成系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 真空流片工艺集成系统 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购1套真空多功能流片工艺集成系统，与超高真空系统实现定制化集成。应用于薄膜原位表面预处理，后处理加工以及结构性质表征，集成多种表征处理模块，如低能电子衍射，原子氢源等。系统核心组成部分包括多功能超高真空腔体，可加热多轴样品操作台等。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。